目前ASML公司是光工艺唯一一个能生产EUV光刻机的公司，光刻机一直牵动人心，刻机那么芯片厂商是芯片m下造不出7nm以下工艺芯片的。ASML副总裁Anthony Yen日前表态，厂商出毕竟这是一台售价高达1.2亿欧元、常说的XXnm工艺主要是看光刻机水平，
光刻是半导体芯片制造中最费时间也是最费成本的环节之一，
作为半导体芯片生产过程中最重要的装备，制程工艺越先进就要离不开先进光刻机。
台积电在第一代7nm工艺上没有使用EUV光刻机，理论上可以用多重曝光的方式制造5nm级别的芯片，10nm工艺之后难度越来越大，