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6月1日消息 荷兰ASML公司近日在官网宣布,全新

据介绍,半导无码
体技ASML计划增加光束数量和光束分辨率,艺产它还具有提高系统总体吞吐量的望暴高速阶段和实时处理来自多个波束的数据流的高速计算体系结构。并提供一致的官宣m工成像质量。HMI eScan1000能够同时产生、全新与单个电子束检查工具相比,半导无码控制九道电子束,体技然后收集和处理产生的艺产次级电子波束,能够创建和控制多个初级电子波束,望暴以满足未来几代芯片制造商的官宣m工产品路线图要求。首台多波束检测系统已于本周交付客户进行鉴定。全新目前,半导完成了用于5nm及更先进工艺的第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的测试。将使吞吐量提高达600%。新的MBI系统包括一个电子光学系统,将波束之间的串扰限制在2%以内,