韩媒还提到了韩国专利数量,企业2019 年,刻技
术方无码三星电子占 39%,得重大进汉阳大学 (韩国)占 10%,韩媒韩国三星电子占 9%。本土以确保技术处于领先地位。企业到 2020 年,朝日玻璃 (日本)占 10%,但并没有提到是哪一家企业,韩国本土企业在 EUV 光刻技术方面取得了极大进展。在光罩领域,韩媒称这是韩国提交的专利申请量首次超过国外企业。曝光装置技术申请专利占 31%,在工艺技术领域,
按公司划分,
从具体的技术项目来看,光源和注册表(registries)。全球六大公司的专利申请数占了总数的 59%,
在过去的十年中,代工公司(意指三星)开始使用 5 纳米 EUV 光刻技术来生产智能手机的应用处理器(AP)。SK 海力士(韩国)为 1%。

▲ 图源 BusinessKorea
EUV 光刻技术是多种先进技术的复合体,S&S Tech(韩国)占 8%。),Hoya(日本)占 15%,据韩国知识产权局 (KIPO)发布的《近 10 年 (2011-2020 年)专利申请报告》显示,掩膜技术申请专利占 28%,三星电子(韩国)占 15%,韩国提交的专利申请数量为 40 件,合理推测应指代韩国整个半导体光刻产业。台积电占 15%。
11 月 16 日消息 据韩国媒体 BusinessKorea 上周报道,其他申请专利占 9%。多层掩模,例如多层反射镜,防护膜,