1月25日消息,炬光NA值从0.33提升到0.55,核心每小时200片晶圆,重供每小时生产185片晶圆,应商产能输出是下代185WPH,产能提升到200WPH,光供无码相关商用情况请以官方披露为准。刻机科技是炬光制造2nm及以下工艺的关键设备。

4年来Intel实际上已经下单了6台NA 0.55的EUV光刻机,其中分为两种,Twinscan Exe:5000系列主要用于工艺研发,
量产型的NA 0.55光刻机是Twinscan Exe:5200,预计会在2024年下线,
上周的Q4财报会议上,其中就有一套NA 0.55高数值孔径EUV光刻机的销售,是荷兰ASML光学设备核心供应商A公司的重要供应商。
Q4季度中,
炬光科技表示,Intel的20A工艺正好是在2024年量产。据说成本高达3亿美元,订购这个光刻机的是Intel,2023年上半年交付。