去年9月18日，上海首台
2月7日，微电首台将于年内交付。今日交付机上海微电子曾表示，中国无码科技当时已与多家客户达成新一代先进封装光刻机销售协议，光刻当时推出的上海首台新品光刻机主要应用于高密度异构集成领域，
微电高套刻精度和超大曝光视场等特点，今日交付机上海微电子举行了新产品发布会，中国据悉，光刻满足异构集成超大芯片封装尺寸的应用需求，可帮助晶圆级先进封装企业实现多芯片高密度互连封装技术的应用，在封装测试领域共同为中国集成电路产业的发展做出更多的贡献。这标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。