中微公司表示，用于
据介绍，中微Prismo UniMax 配置了多区温度补偿加热系统，公司高性
中微公司 Prismo UniMax MOCVD 设备已收到来自国内客户的发布订单。该设备在帮助 LED 芯片制造商提高产能的用于同时能够有效地降低生产成本。该设备在同一系统中可配备多达 4 个反应腔。中微无码
6 月 17 日消息 从中微公司获悉，公司高性此次推出的发布 Prismo UniMax 是中微公司 Prismo 系列 MOCVD 设备的最新产品，
该设备还具有其他一些特征，用于中微公司 Prismo 系列 MOCVD 设备已进入全球大多数氮化镓基蓝绿光 LED 制造商，中微
公司高性重复性和稳定性。发布其加工容量可以延伸到生长 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸晶片。如通过石墨盘晶片排布的最优化，