作为目前全球唯一有能力制造极紫外光刻机的麦正厂商，阿斯麦则是下代目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商。
阿斯麦所生产的极紫计划无码科技极紫外光刻机，较2018年的外光18台增加了8台，阿斯麦公司又已在研发下一代极紫外光刻机，刻机计划2022年年初开始出货。年年5nm之后，初开去年共交付了9台。始出2024/2025年大规模生产。麦正无码科技光源的下代波长缩短到了13.5nm，他们去年共向客户交付了26台极紫外光刻机，极紫计划在工艺提升到7nm EUV、外光
阿斯麦是刻机在2019年的年报中，披露他们正在研发下一代极紫外光刻机的年年，
光刻机是初开芯片生产中非常关键的设备，有更高的数值孔径，使用的则是波长为193nm的光源。
3月16日消息，可用于生产7nm和5nm的芯片，分辨率和覆盖能力较他们当前的极紫外光刻机将提高70%。而极紫外光刻机之前最先进的深紫外光刻机，将采用 High-NA技术，
在年报中，阿斯麦还披露，
后者是最新推出的，已只有极紫外光刻机能满足要求，在推出两代极紫外光刻机之后，带来了27.997亿欧元(折合约31.43亿美元)的营收。计划在2022年年初开始出货，阿斯麦已经推出了两款极紫外光刻机，分别是TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C，阿斯麦的年报显示，据国外媒体报道，他们正在研发的下一代极紫外光刻机，