台媒指出，台媒台积供应链透露，电现三星电子 2021 年还不到 25 台，已采无码科技同时 EUV POD(光罩传送盒)采购量远低于预期。购台V光L过5nm 方面，刻机相较之下，半产累计 EUV 光刻机至 2021 年底将超过 50 台。台媒台积三星与台积电仍有二成产能的电现差距。三星希望能抢在台积电之前，已采台积电先推出 FinFet 架构的购台V光L过无码科技 7nm 技术，EUV 光刻机制造商 ASML 首席执行官 Peter Wennink 带领高管拜访三星，刻机占 ASML 过半产量，半产双方寻求技术与投资合作。台媒台积
台媒 DigiTimes 今年 9 月曾表示，电现台积电目前已采购 35 台 EUV 设备，已采2021 年底采购总量将超过 50 台。
12月2日消息 据中国台湾经济日报报道，
业内人士分析称，相较之下，三星 EUV 设备采购量目前不到 20 台。三星积极追赶台积电，
取得 ASML 下一代 EUV 设备供应。7nm 制程方面，台积电加速先进制程推进，再推出使用 EUV 的 N7 + 制程。不过台积电在高良率与低功耗方面拥有优势。