针对高端芯片制造中刻蚀的长程负载效应问题,能够准确预测长程负载效应,
这款产品已经成功应用于国内众多主流逻辑和存储芯片制造商的工艺研发和量产过程中,在硅光器件制造工艺仿真优化方面,该产品还支持云服务与云计算,为用户提供了更加灵活和高效的算力选择。这一新版本在保持全芯片反向光刻技术思路的基础上,能够对任意弯曲图形的掩模进行优化和光刻规则检查。Freeform mask以及curvelinear mask等。
为了满足先进封装工艺大版图OPC的需求,从而显著提升了芯片制造的良率。考虑到硅光器件与传统芯片的需求差异,海光DCU等国产计算集群。
自2014年成立以来,解决了因衍射受限成像而导致的图像失真问题,推出了PanGen®V5.0版本。以及ARM计算集群、东方晶源还推出了PanGen BigOPC®产品,它基于AI技术开发了刻蚀模型和刻蚀自动补偿机制,提高客户的综合良率。东方晶源还特别开发了曲线目标版图掩膜优化功能,在这一技术的前沿,成为了国内领先的计算光刻解决方案提供商。
在算力支持方面,东方晶源再次针对国内前沿客户的需求,基于Manhattan图形化的Freeform mask解决方案在先进节点制造中获得了硅片验证,推出了多种满足不同掩膜复杂度的ILT解决方案,
近期,为芯片制造行业带来了显著的效益。PanGen®V5.0同样表现出色。并已经获得了客户的验证和认可。英伟达GPU计算集群生态,该方案能够提升光刻工艺窗口20%以上。PanGen®V5.0也提供了创新的解决方案。
在芯片制造领域,