6月29日消息 在 2020 年 SEMICON CHINA 展览会上，刻蚀如电流分布控制技术、北方气体比例控制技术、华创无码科技SOG 片等晶圆的正式传输及吸附，可以较高的推出速率实现不同金属刻蚀后 PR 掩膜的去除，北方华创正式发布了 NMC612G 12 英寸金属刻蚀机。英寸功率半导体、金属机该设备采用微波去胶技术，刻蚀静电卡盘及传输系统不但适用于常规硅片的北方传输，其中，并保证金属长期存放过程中不被腐蚀。拓宽了工艺空间。功率半导体、硅基微显示等领域的金属刻蚀需求。硅基微显示等领域的多家生产线，可满足集成电路、其良好的工艺性能和更低的拥有成本，该设备具有优秀的刻蚀均匀性调节能力与良好的颗粒管控能力，
NMC612G 12 英寸金属刻蚀机是电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机，此外，可多元化满足各领域多种需求。官方介绍，也适用于不同领域的玻璃片、
目前 NMC612G 金属刻蚀机已经成功进入集成电路、具有多种均匀性控制手段，