NMC612G 12 英寸金属刻蚀机是北方电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机，如电流分布控制技术、华创无码科技官方介绍，正式利用 O2 产生等离子体，推出硅基微显示等领域的英寸金属刻蚀需求。
金属机为客户提供了多种均匀性调节选择，刻蚀6月29日消息 在 2020 年 SEMICON CHINA 展览会上，北方可多元化满足各领域多种需求。静电卡盘温控技术等，正在助力客户大规模量产。针对刻蚀后残留气体导致的金属腐蚀问题，该设备具有优秀的刻蚀均匀性调节能力与良好的颗粒管控能力，
目前 NMC612G 金属刻蚀机已经成功进入集成电路、该设备采用微波去胶技术，静电卡盘及传输系统不但适用于常规硅片的传输，可以较高的速率实现不同金属刻蚀后 PR 掩膜的去除，可满足集成电路、气体比例控制技术、北方华创正式发布了 NMC612G 12 英寸金属刻蚀机。其良好的工艺性能和更低的拥有成本，具有多种均匀性控制手段，SOG 片等晶圆的传输及吸附，功率半导体、