与传统光刻设备通过投射高能光线来塑造电路图形的术助斯电所新方式不同,佳能公司近日宣布,克萨他们最快将在今年开始交付更多低成本纳米压印光刻设备,突破
【ITBEAR】9月27日消息,佳能交付L技无码#FPA-1200NZ2C#、先进系统#纳米压印光刻#、纳米该技术通过将印有电路图形的压印研究掩模像印章一样精确地压入晶圆上的光刻胶内,#半导体制造#、光刻

据悉,术助斯电所新这一先进设备将被TIE用于研发和生产先进半导体的克萨原型,助力行业降低生产成本并提升产能。
佳能公司对纳米压印技术充满信心,佳能希望通过这一创新技术,这一优势有望为半导体制造商提供更为经济高效的解决方案,已向位于美国得克萨斯州的半导体研究机构——得克萨斯电子研究所(TIE)成功交付了其先进的纳米压印光刻系统FPA-1200NZ2C。
关键词:#佳能#、#得克萨斯电子研究所#
公司透露,FPA-1200NZ2C系统能够实现最小14nm线宽的精细图案化,并且支持5nm制程逻辑半导体的生产。从而实现了电路图形的高精度转移。佳能FPA-1200NZ2C系统采用了独特的纳米压印技术。这一创新过程省去了光学步骤,NIL光刻设备不仅具有高精度和高效率的优势,佳能公司表示,还在成本和能耗方面表现出色。有望进一步推动半导体技术的创新与发展。使得NIL光刻设备能够在晶圆上忠实再现掩模中的精细电路图形,这一设备的交付标志着半导体制造领域迎来了一项重大技术突破。