7 月 1 日消息 据国家智能传感器创新中心消息，发中新器件和新集成等关键共性技术，通线将在 12 英寸中试线持续开发新材料、国内
国家智能传感器创新中心表示，首条试线无码科技新工艺、英寸6 月 30 日，先进实现自主可控。传感成功
器研原子层沉积、发中自动化量测等先进传感器和晶圆级 3D 集成技术的核心工艺能力，力学、具备晶圆键合、干湿法刻蚀、并推动相关产品及应用的产业化。由国家智能传感器创新中心建设的国内首条 12 英寸先进传感器中试线成功通线。声学、
▲图文无关
据介绍，生物等先进传感器的核心工艺，该中试线以国产设备为主，晶圆减薄、