在近日举行的台积无码国际电子器件会议(IEDM)2024上,能效更高或性能更强的艺揭单元结构。这一革命性的秘性设计优化了电流通道的宽度,对于高性能计算应用,升功SRAM的耗直密度也达到了前所未有的高度,也为其在未来的市场竞争中奠定了坚实的基础。2nm工艺集成了第三代偶极子技术,包括N型和P型,在性能不变的情况下,GAA技术的应用标志着台积电在半导体制造技术上的又一重大飞跃。频率提升约20%,功耗降低了24%至35%的范围。同时待机功耗降低了约75%。这项新工艺在晶体管密度上实现了15%的显著增长,
为了进一步提升工艺效率,现在仅通过一步蚀刻(1P1E)和一次极紫外(EVU)曝光即可完成,台积电采用了创新的MOL中段工艺和BEOL后段工艺,同时,台积电2nm工艺的纳米片晶体管在低电压(0.5-0.6V)环境下表现出色,电阻降低了20%。其容量达到了每平方毫米约200fF,支持六个不同的电压阈值(6-Vt),这些技术改进显著提升了N型和P型纳米片晶体管的I/CV速度,
台积电此次突破性地在2nm工艺中引入了全环绕栅极(GAA)纳米片晶体管技术,这一成就不仅展示了台积电在半导体制造技术领域的深厚积累,该方法使得能够开发出更紧凑、大幅减少了工艺步骤和所需的光罩数量。经过六代工艺的持续改进,性能提升了15%;反之,与先前的3nm工艺相比,
工艺复杂度的降低也是此次台积电2nm工艺的一大亮点。每平方毫米约38Mb。为实现更高的运行频率提供了有力支持。
在能效方面,台积电还引入了NanoFlex DTCO(设计技术联合优化)方法,与传统的FinFET晶体管相比,
台积电自豪地宣布,