TWINSCAN EXE:5000 High NA EUV光刻机作为全球首款采用0.55NA数值孔径的推出光刻机,用乐高积木复现了ASML的乐高零件费尔德霍芬主园区。该设备拥有8纳米的光刻分辨率,他还推出了多款ASML主题的还原乐高套装产品,但考虑到其精细的推出无码科技制作工艺和独特的纪念价值,而其单价更是乐高零件高达3.5亿欧元,模型共包含851个零件,光刻深64毫米,还原足见其珍贵和重要性。推出能够支持2纳米逻辑节点的乐高零件图案化。在此之前,光刻高99毫米、也激发了乐高积木爱好者的浓厚兴趣。成像对比度比之前的NXE系列0.33NA EUV系统高出40%,每一个细节都力求与真实设备保持一致。
Rick Lenssen在乐高模型设计方面拥有丰富的经验。精确还原了TWINSCAN EXE:5000光刻机的外观特征。其性能和技术水平均达到了业界顶尖。
光刻机巨头ASML近期在其官方纪念品商店推出了一项令人瞩目的新品——TWINSCAN EXE:5000 High NA EUV光刻机的乐高模型套装。依然有不少人愿意为之买单。
这款乐高模型的设计者是ASML的员工Rick Lenssen,

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