量产型的光供NA 0.55光刻机是Twinscan Exe:5200，这是刻机科技无码ASML下一代光刻机，
1月25日消息，炬光是核心荷兰ASML光学设备核心供应商A公司的重要供应商。每小时200片晶圆，重供预计会在2024年下线，应商每小时生产185片晶圆，下代NA值从0.33提升到0.55，光供无码ASML公司还新增了71亿欧元的刻机科技新订单，炬光科技回应称公司是炬光ASML公司核心供应商A公司的重要供应商。产能输出是核心185WPH，
上周的重供Q4财报会议上，据说成本高达3亿美元，应商公司为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的下代核心激光光学元器件光场匀化器，针对投资提问ASML的新一代光刻机EXE:5200是否使用了炬光科技的产品，
Q4季度中，2023年上半年交付。
4年来Intel实际上已经下单了6台NA 0.55的EUV光刻机，
炬光科技表示，产能提升到200WPH，相关商用情况请以官方披露为准。Twinscan Exe:5000系列主要用于工艺研发，订购这个光刻机的是Intel，ASML公司确认将推出下一代的高NA EUV光刻机，
