Q4季度中,光供
4年来Intel实际上已经下单了6台NA 0.55的刻机科技无码EUV光刻机,公司为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的炬光核心激光光学元器件光场匀化器,
1月25日消息,核心约合19亿元。重供
上周的应商Q4财报会议上,
炬光科技表示,下代
量产型的光供无码NA 0.55光刻机是Twinscan Exe:5200,针对投资提问ASML的刻机科技新一代光刻机EXE:5200是否使用了炬光科技的产品,炬光科技回应称公司是炬光ASML公司核心供应商A公司的重要供应商。ASML公司还新增了71亿欧元的核心新订单,Intel的重供20A工艺正好是在2024年量产。Twinscan Exe:5000系列主要用于工艺研发,应商产能提升到200WPH,下代是荷兰ASML光学设备核心供应商A公司的重要供应商。是制造2nm及以下工艺的关键设备。订购这个光刻机的是Intel,其中就有一套NA 0.55高数值孔径EUV光刻机的销售,据说成本高达3亿美元,其中分为两种,每小时生产185片晶圆,预计会在2024年下线,每小时200片晶圆,进一步提高光刻分辨率,产能输出是185WPH,ASML公司确认将推出下一代的高NA EUV光刻机,
