在先进制程代工领域的年初竞争中,三星已与比利时微电子研究中心imec展开合作,光刻无码在imec与ASML共同建立的星电High NA EUV光刻实验室中进行了初步探索。三星目前的瞄准半导体先进制程路线图已规划至SF1.4节点,

此前,尖端技术将引进首机此次自有High NA机台的年初引入,
【ITBEAR】据韩媒ETNews报道,光刻该机台有望最早在明年中旬投入研发使用。安装和调试工作预计将耗费一定时间。预计于2027年量产,此举标志着三星将正式加入与英特尔、台积电等巨头在下一代光刻技术商业化研发方面的竞争。
考虑到High NA EUV光刻机的精密性,SK海力士则有望在2026年引入其首台High NA EUV光刻机。