业内人士分析称,电现累计 EUV 光刻机至 2021 年底将超过 50 台。已采
12月2日消息 据中国台湾经济日报报道,购台V光L过无码台积电目前已采购 35 台 EUV 设备,刻机取得 ASML 下一代 EUV 设备供应。半产供应链透露,台媒台积
台媒 DigiTimes 今年 9 月曾表示,电现EUV 光刻机制造商 ASML 首席执行官 Peter Wennink 带领高管拜访三星,已采三星与台积电仍有二成产能的差距。

台媒指出,同时 EUV POD(光罩传送盒)采购量远低于预期。三星 EUV 设备采购量目前不到 20 台。再推出使用 EUV 的 N7 + 制程。三星积极追赶台积电,相较之下,台积电加速先进制程推进,占 ASML 过半产量,7nm 制程方面,三星电子 2021 年还不到 25 台,不过台积电在高良率与低功耗方面拥有优势。