有媒体报道,安装安装首台来自 ASML 的首台 High-NA EUV 光刻机,并预估 2025 年年中投入使用。星被
三星还与新思科技(Synopsys)合作,曝最准备在 2027 年之前将高纳 EUV 工具投入商业应用。快年开始开发用于逻辑和 DRAM 的底前无码科技下一代制造技术。首尔经济日报昨日(8 月 15 日)报道,安装
首台三星电子半导体研究所的星被 Min Cheol-ki 博士在 2024 年光刻与图案化研讨会上表示:“与传统的 [EUV 专用工具] 相比,主要用于研发目的曝最,
报道还称三星还与光刻胶制造商 JSR 和蚀刻机制造商东京电子公司合作,快年开始
三星计划围绕高 High-NA EUV 技术开发一个强大的生态系统:除了收购高 NA EUV 光刻设备外,

报道称三星将在其华城园区内安装首台 ASML Twinscan EXE:5000 High-NA 光刻机,这一转变有望提高电路压印在晶片上的精度,在光掩膜上从传统的电路设计转向曲线图案。这对进一步完善工艺技术至关重要。
8 月 16 日消息,