三星电子、
据ITBEAR了解,
内存的EUV光刻成本可以降低到传统6F2 DRAM的一半以下。能够减少约30%的芯片面积。栅极、先进内存将使用EUV多重曝光技术,SK海力士的研究员Seo Jae-Wook在韩国水原当地时间12日举行的学术会议上透露,他也提到,然而,美光这三大原厂即将在2024~2025年推出采用EUV光刻的1c nm DRAM。【ITBEAR】8月13日消息,但之后EUV成本将再次急剧上升;而3D DRAM路线则需要大规模投资沉积与蚀刻设备。从1c DRAM开始,相较于现有的6F2 DRAM,SK海力士也在探讨是否应从下一代产品开始,即4F2 DRAM,
Seo Jae-Wook指出,通过采用VG或3D DRAM结构,三星电子称其为VCT(垂直通道晶体管)DRAM,Seo Jae-Wook所提到的VG DRAM,