据《电子时报》消息,台积3nm半导体节点工艺预计将是艺晶圆厂台积电在EUV光刻技术上的第三次尝试,
10月25日消息 据TPU报道,开始预计将于2023年量产。建设
台积电将于2020年开始建设3nm工艺的年量生产设施,为新厂奠定技术基础。
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