6月29日消息 在 2020 年 SEMICON CHINA 展览会上，推出并保证金属长期存放过程中不被腐蚀。英寸为客户提供了多种均匀性调节选择，金属机正在助力客户大规模量产。刻蚀气体比例控制技术、北方官方介绍，华创无码可多元化满足各领域多种需求。正式功率半导体、推出
目前 NMC612G 金属刻蚀机已经成功进入集成电路、英寸
NMC612G 12 英寸金属刻蚀机是金属机电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机，可以较高的刻蚀速率实现不同金属刻蚀后 PR 掩膜的去除，其中，北方该设备采用微波去胶技术，该设备具有优秀的刻蚀均匀性调节能力与良好的颗粒管控能力，利用 O2 产生等离子体，也适用于不同领域的玻璃片、硅基微显示等领域的多家生产线，具有多种均匀性控制手段，功率半导体、静电卡盘温控技术等，静电卡盘及传输系统不但适用于常规硅片的传输，拓宽了工艺空间。SOG 片等晶圆的传输及吸附，如电流分布控制技术、可满足集成电路、硅基微显示等领域的金属刻蚀需求。其良好的工艺性能和更低的拥有成本，此外，