当前,将达预计将增长超过一倍。千瓦0.33 NA型号的预测功耗已达1170千瓦,
随着EUV技术的新型普及,而EUV光刻设备的光功耗数量,
分析机构指出,
这一增长趋势意味着,
【ITBEAR】TechInsights最近的分析揭示,这一数字与卢森堡和柬埔寨两国2020年的总用电量相当。随着技术的不断进步和市场的持续扩张,其他工艺设备和HVAC系统同样产生了巨大的能源消耗。全球EUV光刻机的电力消耗将达到惊人的6100吉瓦时。到2030年,半导体行业正面临重大抉择。而更先进的0.55 NA(High NA)型号预计将飙升至1400千瓦,半导体行业需要在保持创新的同时,EUV光刻机的用电量仅占总用电量的11%左右。在半导体晶圆厂中,一方面,EUV光刻技术在推动创新和满足先进芯片需求方面发挥着关键作用;另一方面,
积极探索节能减排的解决方案,