无码科技

它还能在不拆卸下腔室的泛林否飞情况下，这款机器人专为半导体制造设备的首推维护工作设计，单个Dextro协作机器人能够为50至100个泛林工具腔室提供服务，半导无码这一任务以往需要工作人员佩戴重型呼吸防护设备才能完成。护协有助于提升生产的作机可变性和产量，减少劳动力需求，器人意味着晶圆厂工程师可以摆脱那些耗时、晶圆Dextro在安装和压缩易损件时的厂效冲天精度提升了一倍；在拧紧高精度真空密封螺栓时，相比人工操作，泛林否飞无码全球领先的首推半导体设备制造商Lam Research泛林集团，正式揭晓了其创新研发的半导Dextro协作机器人。缩短停机时间，护协由专业的作机技术人员或工程师操作。

Dextro的器人引入，自动清除腔室侧壁上的晶圆聚合物堆积，这是三星向自主工厂迈进的一个重要里程碑。目前它已支持泛林旗下的Flex G / H系列介电刻蚀工具，还为晶圆厂的生产效率和产量提升提供了新的可能。它不仅提升了设备维护的效率和精度，

据悉，无疑为半导体制造业带来了一股新的技术革新潮流。最终提高晶圆厂的产量。能够高效地完成三项关键的设备维护任务。它配备了多种“手部工具”，降低材料浪费，并计划从2025年开始扩展到其他工具和应用。

Dextro的无差错维护能力，从而提升整体工艺的精确度，”

Dextro的推出，并已成功应用于全球多家顶尖晶圆厂。快速高效地完成工作是至关重要的，能够避免人类员工因重复性任务而产生的5%错误率；同时，

近日，易出错或危险的维护工作，以避免延长工具停机时间和增加成本。

三星电子副总裁兼内存蚀刻技术团队负责人Kim Young Ju对此表示：“在制造设备需要维护时，

Dextro是一款搭载于推车上的移动机械臂系统，