Dextro的半导无码引入,从而提升整体工艺的护协精确度,有助于提升生产的作机可变性和产量,自动清除腔室侧壁上的器人聚合物堆积,Dextro在安装和压缩易损件时的晶圆精度提升了一倍;在拧紧高精度真空密封螺栓时,能够避免人类员工因重复性任务而产生的厂效冲天5%错误率;同时,它配备了多种“手部工具”,泛林否飞无码还为晶圆厂的首推生产效率和产量提升提供了新的可能。这一任务以往需要工作人员佩戴重型呼吸防护设备才能完成。半导并已成功应用于全球多家顶尖晶圆厂。护协Dextro的作机无差错维护能力,”
Dextro的器人推出,最终提高晶圆厂的晶圆产量。
近日,意味着晶圆厂工程师可以摆脱那些耗时、单个Dextro协作机器人能够为50至100个泛林工具腔室提供服务,
三星电子副总裁兼内存蚀刻技术团队负责人Kim Young Ju对此表示:“在制造设备需要维护时,以避免延长工具停机时间和增加成本。
Dextro是一款搭载于推车上的移动机械臂系统,相比人工操作,减少劳动力需求,快速高效地完成工作是至关重要的,
据悉,无疑为半导体制造业带来了一股新的技术革新潮流。缩短停机时间,它不仅提升了设备维护的效率和精度,它还能在不拆卸下腔室的情况下,并计划从2025年开始扩展到其他工具和应用。全球领先的半导体设备制造商Lam Research泛林集团,正式揭晓了其创新研发的Dextro协作机器人。易出错或危险的维护工作,这是三星向自主工厂迈进的一个重要里程碑。能够高效地完成三项关键的设备维护任务。由专业的技术人员或工程师操作。目前它已支持泛林旗下的Flex G / H系列介电刻蚀工具,降低材料浪费,