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三星电子在3D NAND闪存生产领域取得了引人瞩目的技术进展。据韩媒The Elec最新报道,这家科技巨头在光刻工艺上实现了重大革新,成功将光刻胶PR)的使用量减半。报道指出,在以往的3D NAND闪

三星3D NAND生产大突破:光刻胶用量减半,年省成本可达数十亿韩元 而采用更厚的大突光刻胶后

三星电子在3D NAND闪存生产领域取得了引人瞩目的生产数亿技术进展。而采用更厚的大突光刻胶后,这一改进不仅大幅降低了材料成本,破光无码其高粘度特性在涂层过程中可能导致均匀性问题。刻胶可达还有望提升生产效率。用量在以往的减半3D NAND闪存生产过程中,从第9代3D NAND产品开始,年省东进半导体化学公司一直是成本三星电子KrF光刻胶的独家供应商,传统的韩元光刻工艺中,为三星的生产数亿第7代(11微米)和第8代(14微米)3D NAND产品提供了关键材料支持。每层涂层需要消耗7至8cc的大突无码光刻胶。据韩媒The 破光Elec最新报道,三星电子与其长期合作伙伴东进半导体化学公司展开了紧密合作。刻胶可达现在每层涂层仅需4至4.5cc的用量光刻胶。三星电子引入了更厚的减半氟化氪(KrF)光刻胶技术。据透露,成功将光刻胶(PR)的使用量减半。这家科技巨头在光刻工艺上实现了重大革新,然而,

然而,从而显著提高了工艺效率。东进半导体每年从光刻胶业务中获得约2500亿韩元的收入,

并对PR涂层后的蚀刻工艺进行了优化,三星电子通过精密调控涂布机的旋转速度,这无疑将对该公司的业务产生一定影响。更厚的光刻胶也带来了新的挑战,然而,这一创新举措预计将为三星电子节省每年数十亿韩元的成本。为了克服这一难题,作为三星电子的重要供应商,这一技术革新也给东进半导体化学公司带来了新的挑战。

自2013年以来,三星电子将全面应用这项新技术。

报道指出,随着三星电子采用新技术减少光刻胶的使用量,其中60%来自三星电子。三星电子能够一次性形成多层涂层,

更为关键的是,每次只能形成一层涂层。东进半导体可能会面临来自三星的订单减少。

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