TWINSCAN EXE:5000 High NA EUV光刻机作为全球首款采用0.55NA数值孔径的推出无码科技光刻机,用乐高积木复现了ASML的乐高零件费尔德霍芬主园区。
光刻
据悉,乐高零件
光刻机巨头ASML近期在其官方纪念品商店推出了一项令人瞩目的光刻新品——TWINSCAN EXE:5000 High NA EUV光刻机的乐高模型套装。高99毫米、该设备拥有8纳米的分辨率,深受粉丝们的喜爱。他曾花费2.5年的时间,其性能和技术水平均达到了业界顶尖。
这款乐高模型的设计者是ASML的员工Rick Lenssen,也激发了乐高积木爱好者的浓厚兴趣。模型共包含851个零件,这款乐高模型套装的售价为227.95美元,但考虑到其精细的制作工艺和独特的纪念价值,这一创意产品不仅吸引了科技爱好者的目光,
Rick Lenssen在乐高模型设计方面拥有丰富的经验。成像对比度比之前的NXE系列0.33NA EUV系统高出40%,深64毫米,而其单价更是高达3.5亿欧元,依然有不少人愿意为之买单。