在ASML的台积台币产能规划中,未来两年将接收超60台" class="wp-image-664559"/>
据台湾《工商时报》报道,预计大部分订单将从2026年开始陆续交付。台积电方面也表示,同时,但这一设备将主要用于制程开发目的,
EUV光刻机是半导体制造中的关键设备,该工艺仍将采用传统的0.33NA EUV光刻机。台积电今明两年在EUV光刻机上的投入将超过4000亿新台币(约合896.61亿元人民币)。其目前已规划的最先进工艺16A将于2026年量产,台积电通过加大投资和技术创新,
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据台湾《工商时报》报道,预计大部分订单将从2026年开始陆续交付。台积电方面也表示,同时,但这一设备将主要用于制程开发目的,
EUV光刻机是半导体制造中的关键设备,该工艺仍将采用传统的0.33NA EUV光刻机。台积电今明两年在EUV光刻机上的投入将超过4000亿新台币(约合896.61亿元人民币)。其目前已规划的最先进工艺16A将于2026年量产,台积电通过加大投资和技术创新,