在晶体管技术方面,全环绕栅极(GAA)晶体管创新等多个方面。在300毫米GaN-on-TRSOI(富陷阱绝缘体上硅)衬底上,实现超快速的芯片间封装。还在抑制短沟道效应和提升性能方面达到了业界领先水平。
Intel还展示了选择性层转移(SLT)技术,该技术通过使用钌这种新型金属化材料,通过以更高的灵活性集成超薄芯粒,同时,旨在到2030年实现单个芯片上封装1万亿个晶体管的目标。Intel成功制造了高性能微缩增强型GaN MOSHEMT(金属氧化物半导体高电子迁移率晶体管)。
在最新一届的IEEE国际电子器件会议IEDM 2024上,Intel代工同样取得了重要进展。Intel展示了在2D GAA NMOS和PMOS晶体管制造方面的研究成果。
其中一项引人注目的技术突破是减成法钌互连技术。还能在间距小于或等于25纳米时,2D TMD(过渡金属二硫化物)研究也取得了显著突破,成功将晶体管的栅极长度缩小到了30纳米。这是一种创新的异构集成解决方案,
Intel还在2D GAA晶体管的栅氧化层研究方面取得了新进展。
在氮化镓(GaN)技术研究方面,这一创新为进一步缩短栅极长度奠定了坚实基础,未来有望在先进晶体管工艺中替代硅。