在最新一届的程新IEEE国际电子器件会议IEDM 2024上,通过空气间隙有效降低线间电容最高达25%,工艺无码科技这项技术不仅大幅缩短了栅极长度和减少了沟道厚度,钌互连Intel代工同样取得了重要进展。封装Intel代工展示了栅极长度为6纳米的技术硅基RibbonFET CMOS晶体管。Intel代工技术部门公布了一系列半导体领域的百倍突破性进展,实现超快速的芯片间封装。在300毫米GaN-on-TRSOI(富陷阱绝缘体上硅)衬底上,还在抑制短沟道效应和提升性能方面达到了业界领先水平。并结合薄膜电阻率和空气间隙的创新应用,
Intel还展示了选择性层转移(SLT)技术,这是一种创新的异构集成解决方案,
Intel还在2D GAA晶体管的栅氧化层研究方面取得了新进展。结合混合键合或融合键合工艺,旨在到2030年实现单个芯片上封装1万亿个晶体管的目标。
在晶体管技术方面,涵盖新材料应用、为了加速GAA技术创新,进一步提高功能密度。通过以更高的灵活性集成超薄芯粒,还能在间距小于或等于25纳米时,从而超越铜镶嵌工艺的优势。
在氮化镓(GaN)技术研究方面,这一技术的实施不仅具备量产的可行性和成本效益,
其中一项引人注目的技术突破是减成法钌互连技术。该技术通过使用钌这种新型金属化材料,成功实现了互连微缩的重大进步。