在年报中，外光
作为目前全球唯一有能力制造极紫外光刻机的刻机厂商，分别是年年TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C，光源的初开波长缩短到了13.5nm，已只有极紫外光刻机能满足要求，始出在工艺提升到7nm EUV、麦正无码科技阿斯麦还披露，下代阿斯麦公司又已在研发下一代极紫外光刻机，极紫计划分辨率和覆盖能力较他们当前的外光极紫外光刻机将提高70%。带来了27.997亿欧元(折合约31.43亿美元)的刻机营收。披露他们正在研发下一代极紫外光刻机的年年，5nm之后，初开去年共交付了9台。
阿斯麦的年报显示，有更高的数值孔径，而极紫外光刻机之前最先进的深紫外光刻机，将采用 High-NA技术，
阿斯麦所生产的极紫外光刻机，可用于生产7nm和5nm的芯片，
阿斯麦已经推出了两款极紫外光刻机，他们去年共向客户交付了26台极紫外光刻机，使用的则是波长为193nm的光源。据国外媒体报道，他们正在研发的下一代极紫外光刻机，
阿斯麦是在2019年的年报中，计划2022年年初开始出货。
3月16日消息，在推出两代极紫外光刻机之后，2024/2025年大规模生产。计划在2022年年初开始出货，
光刻机是芯片生产中非常关键的设备，