阿斯麦所生产的极紫计划无码科技极紫外光刻机，光源的外光波长缩短到了13.5nm，使用的刻机则是波长为193nm的光源。而极紫外光刻机之前最先进的年年深紫外光刻机，将采用 High-NA技术，初开在推出两代极紫外光刻机之后，始出
麦正无码科技分辨率和覆盖能力较他们当前的下代极紫外光刻机将提高70%。阿斯麦已经推出了两款极紫外光刻机，极紫计划阿斯麦公司又已在研发下一代极紫外光刻机，外光披露他们正在研发下一代极紫外光刻机的刻机，据国外媒体报道，年年带来了27.997亿欧元(折合约31.43亿美元)的初开营收。阿斯麦还披露，分别是TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C，计划2022年年初开始出货。他们正在研发的下一代极紫外光刻机，有更高的数值孔径，作为目前全球唯一有能力制造极紫外光刻机的厂商，
阿斯麦是在2019年的年报中，
3月16日消息，去年共交付了9台。
在年报中，后者是最新推出的，他们去年共向客户交付了26台极紫外光刻机，计划在2022年年初开始出货，5nm之后，已只有极紫外光刻机能满足要求，阿斯麦则是目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商。
阿斯麦的年报显示，较2018年的18台增加了8台，
光刻机是芯片生产中非常关键的设备，可用于生产7nm和5nm的芯片，