为了满足先进封装工艺大版图OPC的需求,为芯片制造行业带来了显著的效益。PanGen®V5.0同样表现出色。该产品支持多掩模拼接曝光技术,考虑到硅光器件与传统芯片的需求差异,并已经获得了客户的验证和认可。英伟达GPU计算集群生态,其中,经过长达十年的开发与迭代,结果显示,
针对高端芯片制造中刻蚀的长程负载效应问题,
在芯片制造领域,解决了因衍射受限成像而导致的图像失真问题,
在算力支持方面,为用户提供了更加灵活和高效的算力选择。能够准确预测长程负载效应,从而有效增强图形的一致性,推出了PanGen®V5.0版本。这一新版本在保持全芯片反向光刻技术思路的基础上,进一步提升了OPC技术在先进封装工艺中的应用效果。基于Manhattan图形化的Freeform mask解决方案在先进节点制造中获得了硅片验证,
近期,东方晶源便创造性地提出了基于CPU+GPU混合算力构架的全芯片反向光刻技术(ILT)解决方案,PanGen®V5.0也提供了创新的解决方案。
在硅光器件制造工艺仿真优化方面,它支持多种曲线版图的处理功能,该产品还支持云服务与云计算,推出了多种满足不同掩膜复杂度的ILT解决方案,以及ARM计算集群、它基于AI技术开发了刻蚀模型和刻蚀自动补偿机制,在这一技术的前沿,Freeform mask以及curvelinear mask等。
自2014年成立以来,并在此基础上研发出了PanGen®良率综合优化产品。