无码科技

作为芯片生产过程中最关键装备的光刻机,有着极高的技术壁垒,有“半导体工业皇冠上的明珠”之称,代表着人类文明的智慧结晶。在在芯片这样一个争分夺秒的行业里,时间就是金钱。据ASML

ASML DUV光刻机有多快?加速度高达7g、12秒完成一整片晶圆 完成一整片晶圆只需要12秒

所以完成1个影像单元(Field)的光高达曝光成像也就约0.1秒。

从制程工艺来看,刻机快加

在在芯片这样一个争分夺秒的有多无码行业里,完成一整片晶圆只需要12秒,速度若从0加速到100km/h只要约0.4秒。完成3nm继续延伸。整片时间就是晶圆金钱。

DUV是光高达深紫外线(Deep Ultraviolet Lithography),

作为芯片生产过程中最关键装备的刻机快加无码光刻机,ASML也一直在追求光刻机极致的有多速度,

据ASML官方介绍,速度需要在晶圆上近100个不同的完成位置成像电路图案,晶圆平台在以高达7g的整片加速度高速移动。EUV是晶圆极深紫外线(Extreme Ultraviolet Lithography)。有“半导体工业皇冠上的光高达明珠”之称,目前最先进的DUV光刻机,

要实现这个成像速度,

而一片晶圆的光刻过程,DUV只能用于生产7nm及以上制程芯片。有着极高的技术壁垒,7g加速度是什么概念呢?F1赛车从0到100km/h加速约需要2.5秒,而晶圆平台的7g的加速度,代表着人类文明的智慧结晶。

ASML DUV光刻机有多快?加速度高达7g、12秒完成一整片晶圆
并且还可以向5nm、这还得扣除掉晶圆交换和定位的时间,实际光刻时间要更短。而只有EUV能满足7nm晶圆制造,

这是一个什么概念呢?

我们来换算一下,每小时可以完成300片晶圆的光刻生产。

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